X荧光光谱仪（XRF）是可以对多元素快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（即X-荧光）。波长和能量是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。一般可能只知道能量色散X荧光光谱仪，那偏振式能量色散X荧光光谱仪又是什么。

普通能量色散X荧光采用低功率X射线管，又采用滤光片扣除背景和干扰，其背景偏高，分辨率偏小，使得应用范围受到限制，特别是在轻元素的分析受到限制。

偏振器

随之X射线偏振器的诞生，产生了一款新型的能量色散X荧光光谱仪，既偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF，再加上SDD探测器的使用，不仅提高了（相对使用正比计数管和Si（PIN）探测器的仪器）的分辨率，免去Si(Li)探测器使用液氮冷却的繁琐和危险，填补了原来普通能量色散X荧光的轻元素检出限高，分辨率差的缺陷，又使得（相对波长色散X荧光用户）购买和使用X荧光仪器的成本大大减低，这使得偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF在分析领域的迅猛发展，越来越受到广泛关注。

普通能量色散型荧光光谱仪（ED-XRF）是通过滤光片得到背景相对较低的X射线，照射样品发射X荧光，X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量；而偏振式能量色散X荧光光谱仪ED（P）-XRF是采用偏振次级靶，得到单色的X射线照射样品，再X荧光借助高分辨率敏感半导体检测器与多道分析器将未色散的X-射线按光子能量进行色散，根据各元素特征能量的强度高低来测定各元素的量，这就大大提高了仪器的信噪比，提高了能谱仪分析轻元素的能力。