铍窗，作为X荧光光谱仪中一个特殊的存在，其价值是不言而喻的，那它的作用又是什么。它作为一个有厚度的零部件，厚度的变化是否对其有影响呢。

首先，铍窗主要的作用就是，密封真空，因为在探测器和X光管的内部都是真空状态，因此，需要一个窗口将外界大气和真空隔离开。

Si（Li）探测器结构

其二，选择金属铍作为窗口材料，是因为我们不希望窗口阻碍X射线的穿透。金属铍是zui轻的（原子序数zui小）稳定金属，它对X射线的屏蔽作用zui小。当然，用有机膜做探测器的窗口也是可以的，但一般的有机膜密实度不够，无法长时间保证真空，也有用特殊的有机膜作为探测器的窗口，但造价太高。而对于X光管来说，就只能用金属铍做窗口了，因为X光管在工作的时候温度很高。另外，为了得到尽可能大的X射线强度，金属铍用的越薄越好，但太薄了强度又无法保证，因此，探测器的铍窗一般在1mil左右，而X光管的铍窗在100微米左右。

微型X射线管现在应用的越来越广泛，已经在放射性医疗、无损探伤、现场元素分析领域得到了普遍的应用。

X荧光光谱仪中的部件-铍窗

微型X光管前端一般采用铍（Be）作为窗口材料，起到密封光管，保持光管内部真空的作用，同时铍窗也对低能X射线起到一定的过滤作用。对于X射线管一般认为其Be窗越薄越好，这样可以尽可能减少铍窗对原级X射线的吸收。而在原位（现场）X射线能量色散荧光分析应用中，微型X射线管产生能量连续的轫致辐射和低能辐射，其中连续的轫致辐射射线使得荧光谱线的散射本底增加，不利于谱线分析；低能轫致辐射和散射射线的存在，容易造成探测器计数率过载，从而影响样品元素含量和技术率之间的线性关系，在室内分析中，往往采用增加滤光片来吸收X射线光管的低能连续谱和低能散射射线，降低X射线光管发射的原级谱线对待测元素的干扰。而原位（现场）分析中，X射线荧光分析仪因为结构和体积的要求一般不会附加滤光片，微型X射线管主要依靠出射端的Be窗来滤除低能轫致辐和散射射线。因此，zui优化微型X射线管Be窗厚度的选择能够降低测量中的干扰，提高原位（现场）X荧光分析的分析精度。目前。据国外微型X射线管资料，对铍窗厚度的设置一般在几十微米至几百微米不等，但并无明确的标准。本工作研究微型X射线管铍窗厚度对X射线管原级谱线的影响，旨在原位（现场）X射线能量色散荧光分析采用微型X射线管zui优化设计提供参考。